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オンリーワンへ

ECRプラズマ
成膜装置

ECRプラズマ成膜法は、低温、低ダメージで緻密、平滑、高品質薄膜を形成できる成膜方法です。現代の電子部品の生産工程において欠かすことのできない先進テクノロジーです。
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原子層
堆積装置

原子層堆積法はステップカバレッジ、膜厚制御性に優れており、高アスペクト比、複雑な三次元構造に原子レベルで膜厚制御された成膜が可能です。
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３つの
クオリティ

「成膜技術・成膜システムで社会に新しい価値を創造する」ことを理念とし、常に「装置開発・製造」、「テクニカルアドバイス」「アフターサービス」の3つのクオリティ向上に向けた取り組みを行っております。
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JSW-AFTY
について

1989年の創業以来、ECRプラズマ成膜技術をベースとして発展し、2014年4月より日本製鋼所のグループとして、新たに開発から製造販売アフターサービスまでを一貫して行っています。
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ニュース

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お問い合わせ

TEL 042-632-8840 / FAX 042-632-8841

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