弊社は1989年に株式会社アフティとして創業以来、NTTグループにてECRプラズマ成膜技術をベースとして発展して参りました。 2007年9月より三井造船グループとしてスタート、グループ各社が展開していた半導体およびフラットパネル製造装置事業が弊社に統合されました。 2014年4月より日本製鋼所のグループとして新たにスタート、開発から製造販売、アフターサービスまでを一貫して行い、より一層お客様の価値創造に貢献します。

1989年5月 株式会社アフティ、東京五反田にて設立（株主：日本電信電話株式会社、新日本製鐵株式会社）

1992年11月 – 本社移転（東京都武蔵野市）

1998年10月 – エヌ・ティ・ティ・アフティ株式会社に社名変更（エヌ・ティ・ティ・エレクトロニクス株式会社資本参加）

2000年3月 社屋移転（東京都三鷹市）

2001年10月 子会社設立（エヌ・ティ・ティ・アフティエンジニアリング）

2005年3月 本社移転（東京八王子市）

2007年8月 NTTグループより、三井造船株式会社、三井物産エレクトロニクス株式会社に株主変更。製造、販売業務、検査、据付業務、修理、点検、保守物品供給業務、中古装置の斡旋及びこれに付帯する業務。

2007年9月 エム・イー・エス・アフティ株式会社に社名変更

2009年12月 三井造船株式会社クリーンメカトロニクス事業部を吸収分割　アフティ玉野を開設

2010年2月 株式会社ガソニックスの一部を吸収分割
資本増資4億7500万円

2014年2月 JSWアフティ株式会社設立

2014年4月 エム・イー・エス・アフティ株式会社より、ECR装置、ALD装置及びアニール装置の製造・販売事業及びこれらのアフターサービス事業を譲受